種類用途
質譜儀是通過對樣品離子質荷比的測定來分析其組成的一類儀器。實驗室質譜儀種類很多，從應用的角度可以分為有機、無機、氣體、同位素質譜儀幾類。有機質譜是質譜儀中數量最多，應用廣的一類，在線氣體質譜也是質譜大家庭中*一種。在線氣體質譜廣泛的應用于殘余氣體分析（RGA）、催化研究（TPR、TPD、TPO）、環境尾氣分析、氣體純度分析、反應動力學等。
在線質譜儀
離子檢測器-- 法拉第杯（直接電測法）離子流直接為金屬電極所接收，并用電學方法記錄離子流大小。二次電子倍增器（二次效應電測法） 一定能量的正離子打擊陰極的表面，產生若干二次電子，然后用多級瓦片狀的二次電極（或稱打拿極）使二次電子不斷倍增，最后為陽極所檢測。 二次電子倍增器的檢測極限更低。好點的質譜會同時配備這兩種檢測器。
在線氣體質譜儀基本上被國外壟斷，關鍵技術還不能國產化，做的比較好有MKS 的Spectra 系列。
參考資料
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