與氣體滲氮相比，離子滲氮具有許多優點，主要表現在 ：

1、離子滲氮是在真空中進行，因而可獲得無氧化的加工表面，也不會損壞被處理工件的表面光潔度。而且由于是在低溫下進行處理（380℃起即可進行滲氮處理），被處理工件的變形量極小，尺寸穩定性好，可以滿足精密模具及高精度的零部件要求，處理后無需再進行加工，極適合于成品的處理。

2、氣體滲氮時間長表面粗糙，硬而脆不耐磨。氣體滲氮的工件，表面通常會出現較厚（20um以上）的化合物層，這是由ε+γ′兩相組成的不均勻混合物層，里層則為擴散層。因此，在化合物層內產生三向顯微應力，若在此應力方向上再略加外力，就會產生微小裂紋，此裂紋逐漸擴展而使整個化合物層剝落。含鉻、鋁滲氮鋼的化合物層很脆，氣體滲氮后一般均要把它磨去后才能使用。而離子滲氮可以通過控制氣氛中氮氣和氫氣的比例，可以獲得5-30um厚的脆性較小的ε相單相層或0-8um厚的韌性γ′相單相層，也可以得到韌性更優的無化合物層而僅有擴散層的滲氮層，這樣可以不需要磨削直接裝機使用。

3、由于不銹鋼表面鈍化膜的阻礙，傳統的氣體滲氮前必須做去鈍處理，因工藝十分繁雜，且不易控制，效果也難保證。離子滲氮的濺射作用可有效地除去這層鈍化膜，而無需做去鈍處理，因此離子滲氮工藝為不銹鋼的表面強化提供了一條新的途徑。

4、經離子滲氮的工件滲氮層致密性好，硬度高，耐磨性、抗咬合性及抗蝕性等方面均優于氣體滲氮。