概述
Edwards HT10(ANSI10/ISO320 進氣口)擴散泵可用于高、低負荷的工業應用。構造堅固,即使在高壓條件下也提供的抽速。機械加工的鑄造鋁制內核可提供穩定的性能,不銹鋼的泵體具有防腐蝕的特性,可以制程清潔度。這些泵可在 4 × 10-3 mbar 時提供的吞吐量(壓力乘以抽速),適合涉及大量氣體的工業制程。
應用
- 真空冶金
- 蒸餾、干燥和脫氣
- 薄膜覆層和噴鍍
- 大型研究活動
功能和優勢
- 與同等尺寸的泵相比,吞吐量高
- 與同等尺寸的泵相比,轉換壓力快
- 的大前級壓力和對氣體激增的耐受性
- 與同等尺寸的泵相比,具有的抽速
- 集成的冷卻帽,可實現佳性能和極低的回流
- 針對低壓的自行分餾
- 易于更換的加熱器組件
數據
相對抽速 | 4650 ls-1 |
ISO 抽速? | |
氮氣 | 3000 ls-1 |
氦氣 | 4650 ls-1 |
AVS 泵送 | |
氮氣 | 3330 ls-1 |
氦氣 | 5165 ls-1 |
大吞吐量(氮氣) | 10 mbar ls-1 |
| 7.5 Torr ls-1 |
臨界前級壓力 (DC704EU) | 1.1 mbar |
| 0.8 Torr |
大吞吐量的對應前級泵排量 | 60 m3h-1 |
| 35 ft3min-1 |
的前級泵? | GV80,E2M80 |
的液體 | DC704EU |
液體充填量(干) | 1250 ml |
| 1.3 qt |
進氣口/前級連接 | ANSI10/ANSI12 或 EO12 inch/EO130 mm 或 ISO320/ISO63 |
水接頭 | 3/8 英寸 NPT 母頭 |
加熱器功率 | 5.1 kW |
| 6.8 hp |
預熱時間 | 30 分鐘 |
冷卻水流量(25 °C 時) | 400 l h-1 |
| 1.8 US gal min-1 |
冷卻水供給源兩端的壓力降 | 1 bar |
| 14.5 psi |
重量 | 80 kg |
| 176 lbs |
? 通過總壓力測量獲得的 ISO 速度和吞吐量數據。部分壓力讀數通常使數據增加 ~30%。對于同一個泵,ISO 速度測量通常比 AVS 測量小 10%。
? 提供這些數據僅供參考,請聯系 Edwards 獲得適合您的應用的泵組合建議。