概述
Edwards HT20B(ANSI20/ISO630 進氣口)擴散泵可用于高、低負荷的工業應用。構造堅固,即使在高壓條件下也提供的抽速。機械加工的鑄造鋁制內核可提供穩定的性能,不銹鋼的泵體具有防腐蝕的特性,可以制程清潔度。這些泵可在 4 × 10-3 mbar 時提供的吞吐量(壓力乘以抽速),適合涉及大量氣體的工業制程。
應用
- 真空冶金
- 蒸餾、干燥和脫氣
- 薄膜覆層和噴鍍
- 大型研究活動
功能和優勢
- 與同等尺寸的泵相比,吞吐量高
- 與同等尺寸的泵相比,轉換壓力快
- 的大前級壓力和對氣體激增的耐受性
- 與同等尺寸的泵相比,具有的抽速
- 集成的冷卻帽,可實現佳性能和極低的回流
- 針對低壓的自行分餾
- 易于更換的加熱器組件
數據
相對抽速 | 18000 ls-1 |
ISO 抽速? | |
氮氣 | 8000 ls-1 |
氦氣 | 16000 ls-1 |
大吞吐量(氮氣) | 24 mbar ls-1 |
| 18 Torr ls-1 |
臨界前級壓力 (DC704EU) | 1.3 mbar/ |
| 1 Torr |
大吞吐量時的前級泵排量 | 135 m3h-1 |
| 80 ft3min-1 |
的前級泵? | GXS250、E2M175 |
的液體 | DC704EU |
液體充填量(干) | 3600 ml / 3.8 qt |
進氣口/前級連接 | ANSI20/ANSI4 或 |
| ISO630/ISO160 |
水接頭 | 3/4 英寸 NPT 母頭 |
加熱器功率 | 12.6 kW/16.9 hp |
預熱時間 | 60 min |
冷卻水流量(25 °C 時) | 960 l h-1 / 4.2 US gal min-1 |
冷卻水供給源兩端的壓力降 | 1.2 bar / 17.4 psi |
重量 | 275 kg / 605 lbs |
? 通過總壓力測量獲得的 ISO 速度和吞吐量數據。部分壓力讀數通常使數據增加 ~30%。對于同一個泵,ISO 速度測量通常比 AVS 測量小 10%。
? 提供這些數據僅供參考,請聯系 Edwards 獲得適合您的應用的泵組合建議。