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萬級無塵車間標準

*、關于塵埃粒子

潔凈度 懸浮粒子允許數/立方米

靜態 動態(3)

≥0.5μm ≥5μm(2) ≥0.5μm ≥5μm

A*級(1) 3520 20 3520 20 

B級 3520 29 352000 2900

C級 352000 2900 3520000 29000

D級 3520000 29000 不作規定 不作規定

二、關于浮游菌

潔凈區微生物監測的動態標準(a)如下：

浮游菌

cfu/m3 沉降菌（f90mm）

cfu /4小時(2) 表面微生物

接觸碟（f55mm）

cfu /碟 5指手套

cfu /手套

A*級 <1 <1 <1 <1

B級 10 5 5 5

C級 100 50 25 －

D級 200 100 50 －

萬級為表中C 級！！