　　根據ISO14644-3 及新GMP對潔凈廠房驗收需要對氣流方向進行評價。Y09-010煙霧發生器可以產生高濃度水蒸氣(粒徑范圍：1-10um 集中度80%以上)，高可見度及無污染。當水蒸氣在潔凈室內散發后，沒有可測的殘留物質。Y09-010可適用于半導體，制藥類潔凈車間。

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