inficon真空計是一種用于測量高真空度區域內的氣體壓力(空氣密度低到低于大氣壓的范圍內)的儀器。其工作原理基于氣體分子與表面之間的碰撞，以及氣體分子在真空條件下的運動特性。
它的種類很多，這些儀器以不同的原理來工作，例如熱電子與陰極陰離子的流動、大流量吸收、容積測壓與振動方式等。不同的真空計具有不同的特點和優缺點，可以根據實際需要選擇合適的儀器。
inficon真空計的基本原理：
包括兩個電極，其中一個電極為陽極(陰極射線管或電子槍)，另一個電極為陰極(接收器)。當加上高壓電源后，陽極會發射出電子束，經過真空區域時與氣體分子發生碰撞，使其電離并生成電子離子對。這些離子對在電場的驅動下運動，并在陰極表面產生電流。
采用不同的電極結構和電路設計，真空計可以實現不同的測量范圍和靈敏度。其中，熱陰極真空計利用熱電子發射的原理，在真空區域中產生電子，并通過電子與氣體分子的碰撞計算氣體壓力；而冷陰極真空計則通過陰極表面的氣體吸附和解吸來測量氣壓，其靈敏度比熱陰極真空計高，適用于更廣泛的測量范圍。
總之，inficon真空計在許多應用中都有廣泛的應用，例如太陽能電池、微電子領域的材料研究、半導體加工廠和航空制造廠等。不同的真空計具有不同的測量范圍、體積、靈敏度等特點。因此在選擇和使用真空計時，需要根據實際情況進行評估，以選擇適合的儀器。
