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工業超純水設備應用半導體領域

2024-7-26  

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半導體是一項涉及高新技術、具有高附加值和帶動性的產業,涉及芯片設計、設備制造、新能源開發等多個領域,對于促進國家工業經濟發展、帶動就業增長、提高國家科技水平在國際中的競爭力等方面有十分重要的作用。隨著全球半導體產業大發展,我國對半導體的重視和大力開發也成為了工業生產中的重要工作之一。在我國政府的各項扶持政策支持和企業人才持之以恒的研究下,我國在半導體生產制造和出口上取得了一定成績,提高了我國的國際影響力。

工業超純水設備應用半導體領域


半導體產業健康發展離不開高質量的超純水支持。超純水在半導體清洗、切割、蝕刻等加工工藝中發揮了關鍵作用。由于超純水的純度高,幾乎除去了水分子之外的所有成分,它對產品質量基本無影響,能充分保障產品的功能可靠性。采用工業超純水設備可以生產出質量可靠的超純水。該設備采用了雙級反滲透和EDI技術組成了核心生產工藝,生產出的超純水純度高、電阻率可達16 MΩ*cm(25℃)。

反滲透膜是實現水中雜質和水分子分離的關鍵技術。反滲透膜擁有納米級的膜孔徑和強大的抗污染能力,原水經過加壓驅動進入到反滲透膜中,其含有的有機物、金屬離子、礦物質、細菌等就會被膜截留。反滲透膜的水滲透效果好,在保障水分子較大通量的同時,不易被雜質堵塞。

在反滲透之后使用EDI技術可以實現超純水深度脫鹽。EDI進水是二級反滲透產水,水質較好,脫鹽后濃水水質仍舊能夠優于一級反滲透產水,可回流至一級反滲透產水箱

工業超純水設備具有生產質量穩定、無酸堿再生、體積小、自動化強的優點。它還采用了智能化程序設計,操作更加靈活,可根據具體需求調整運行參數,方便快捷,能為半導體生產穩定供水。


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