旋片式真空泵是以泵為主泵，以旋片真空泵為前級泵的串聯而成的。旋片式真空泵選用的旋片泵作為前級泵，因此它克服了旋片式真空泵在使用時一定壓力下的抽氣速率低的缺點，并且同時保留了羅茨泵能迅速的工作，優點有比較大抽氣速率等。因為旋片式真空泵的結構緊湊、地面積小，所以可以替代多臺機械式真空泵，因此旋片式真空泵機組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設備的預抽，電真空半導體等行業中與泵油不會起化學反應的也不會含有顆粒塵埃的氣體。

       實驗室旋片式真空泵低于泵溫下的飽和蒸汽壓時，即可以隨時充入氣體排出泵外，而防止凝固在泵油中。此外當密閉泵口運轉的時候，已經混入油內的可凝性氣體的凝結物或者氣相就會溶于油中的物質，又會在泵腔內從中溢出，這時如果開氣鎮的任務，也可以抽除一定量的可凝性的物質，從而起到一定污染作用，延伸泵油的運用期。實驗室旋片式真空泵油較貴，貨源則是無限，因此合理運用氣鎮有著重大的經濟意義