半導體材料是指在室溫下絕緣體與導體之間具有導電性的材料，包括半導體制造材料和半導體密封測試材料。半導體制造材料包括襯底材料(主要是硅片)、電子氣體、光掩模、拋光液、光刻膠和輔助化學品、高純度靶材等。

　　硅片是半導體工業的上游原材料。下游產業可將硅片制成各種半導體器件，用于后續加工，如集成電路、二極管、功率器件等。據SEMI統計，2020年，全球晶圓制造材料市場達到349億美元，其中硅晶圓的銷售額占比更高，達到36.64%，是半導體制造的主要原材料。

　　純水是半導體生產離不開的必要元素。傳統純水制備方法主要有蒸餾法和離子交換法。蒸餾設備要求嚴格，產量低，能耗高。離子交換法再生失效的離子交換樹脂需要大量的酸堿溶液和大量的清洗水，勞動強度高。早期用于醫藥、化工、發電等行業的純水水質要求不是很高，但隨著半導體行業的快速發展，對純水的水質要求越來越高。

　　傳統方法不適合單獨用于生產高純度超純水。20世紀60年代以來，隨著膜技術的發展，出現了微濾、超濾、反滲透和電滲析等新的水處理技術。目前，RO+混床系統已經取代了傳統的離子交換系統，但反滲透對原水中溶解氣體和一些弱電解質等雜質的去除效果較差，混床再生會消耗酸堿溶液，產生一定量的廢水。EDI工藝可連續再生無酸堿溶液的離子交換樹脂，減少環境污染。設備結構簡單，操作方便，高效節能，勞動強度低，出水純度高。因此，EDI超純水設備越來越受到人們的重視。