凈化車間潔凈度檢測標準及要求。
一、定義：
潔凈室(clean room)又稱無塵室，是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內溫度、濕度控制在某一要求的房間。
二、范圍：
本標準規定了電子工業用潔凈室的術語和定義；對電子工業用的潔凈室環境條件作了規定；并對電子工業用空氣凈化系統及其性能指標作了規定。
潔凈室定義潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的房間，其建造和使用方式可最大限度減少房間進入的、產生的和滯留的粒子。房間內的溫度、濕度、壓力等其他相關參數均按要求受控(ISO 14644-6)。2.潔凈室的四大技術要求一、送風至少經過三級過濾(粗效、中效和高效)，并且高效過濾器應設置在系統的末端。
二、潔凈室應有足夠的凈化和空調的送風量。
三、潔凈室應維持必要的壓力梯度(正壓梯度或負壓梯度)。
四、潔凈室應有合理的氣流組織。3.潔凈室的分類按氣流流型潔凈室可劃分為：
▲ 單向流潔凈室
1、單向流(層流)潔凈室，其中又分垂直單向流潔凈室和水平單向流潔凈室。2、單向流氣流的凈化原理是活塞和擠壓原理，把塵埃粒子從一端向另一端擠壓出去，用潔凈氣流置換污染氣流。包括有垂直單向流和水平單向流兩種氣流流型。
垂直單向流是潔凈的氣流以一定的速度(0.25m/s~0.5m/s)從頂部流向地面的氣流流型。這種氣流能創造100級、10級、1級或更高潔凈度級別。但其初投資很高、運行費很高，工程中盡量將其面積壓縮到最小，應用到關鍵的必須用的部位。
水平單向流是潔凈的氣流以一定的速度(0.3m/s~0.5m/s)從送風墻流向對面的回風墻的氣流流型。該氣流可創造100級的潔凈度級別。其初投資和運行費低于垂直單向流流型。
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