CO 2 雪噴射清潔工藝以高效率從表面去除微米和亞微米顆粒,并且還去除基于碳氫化合物的污染物。CO 2雪清潔是非破壞性的、非磨蝕性的、無殘留的,并且不會產生化學廢物。
二氧化碳除雪可用于初始或后期清潔,以及半導體、磁盤驅動器、研究、真空技術、表面科學、表面分析、光學、醫療、分析儀器、望遠鏡、藝術中的許多關鍵和非關鍵清潔應用保護、制造社區等。
應用
許多不同的清潔應用已被成功展示:
· 從金屬、陶瓷、聚合物和玻璃中去除污染物
· 去除 Si、InP 和 GaAs 晶圓上的顆粒和污點
· 清潔光學元件,即鍍膜鏡片、激光、IR 和 UV 光學元件、光纖
· 表面分析前的樣品制備(俄歇、XPS、SIMS 和 AFM)
· 一般實驗室、生產和潔凈室清潔
· 各種基材制備
· 清潔真空系統組件,包括電子和離子光學器件、波紋管、機加工零件
· 從微電子和混合電路中去除顆粒
· 大望遠鏡鏡
· 藝術修復和清潔,火災后修復
· 還有很多
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