德國20場發射電子顯微鏡全部采用新一代鏡筒(GEMINI)設計,具有優良的高、低加速電壓性能。創新的InLens設計是目前世界上真正的內置鏡筒電子束光路上二次電子探測器,具有靈敏度和高的接收效率,而且只接收來自樣品表面的二次電子,因此具有業界高等級的分辨率和圖像質量。二次電子探測器和背散射電子探測器均內置于鏡筒電子束光路上,試樣的工作距離不受背散射探測器的影響,可以非常接近極靴,這樣可以同時獲得高的二次電子像分辨率和背散射電子像分辨率,且接收的背散射電子的能量可以控制。ZEISS的場發射掃描電鏡創造性的采用電磁、靜電復合式物鏡,雜散磁場小,可對鐵磁體樣品進行高分辨率
產品應用:
掃描電鏡(SEM)廣泛地應用于金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機械加工)和非金屬材料(化學、化工、石油、地質礦物學、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維)等檢驗和研究。在材料科學研究、金屬材料、陶瓷材料、半導體材料、化學材料等領域進行材料的微觀形貌、組織、成分分析,各種材料的形貌組織觀察,材料斷口分析和失效分析,材料實時微區成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面掃描和線掃描分布測量,晶體、晶粒的相鑒定,晶粒尺寸、形狀分析,晶體、晶粒取向測量。
德國20場發射電子顯微鏡技術參數
分 辨 率: 0.8nm@ 15KV
1.6nm @ 1KV
2.0nm @ 30KV(VP mode)
放大倍數: 12 - 1,000,000x
加速電壓: 0.02 - 30 KV
探針電流: 4 pA - 20 nA (12pA - 100 nA 可選)
樣 品 室: 330 mm (φ) x 270 mm (h)
樣 品 臺: 5軸優中心全自動
X = 130mm
Y = 130 mm
Z = 50mm
T = -3 to 70°
R = 360°連續旋轉
系統控制: 基于Windows XP 的SmartSEM操作系統,可選鼠標、鍵盤、控制面板控制