臭氧滅菌柜，又稱臭氧發生器。臭氧發生器是用于制取臭氧氣體（O3）的設備。臭氧易于分化無法儲存，需現場制取現場使用（特殊的情況下可進行短時間的儲存），所以凡是能用到臭氧的場所均需使用臭氧發生器。臭氧發生器在飲用水，污水，工業氧化，食品加工和保鮮，醫藥合成，空間滅菌等領域廣泛應用。 臭氧滅菌柜發生的臭氧氣體可以直接使用，也可以通過混合設備和液體混合參加反應使用高壓電離(或化學、光化學反應)，使空氣中的部分氧氣分化聚合為臭氧，是氧的同素異形改變進程;亦可使用電解水法取得。臭氧的不穩定性使其很難完成瓶裝儲存 ，一般只能使用臭氧發生器現場生產，隨產隨用，臭氧發生器主要有三種：高壓放電式、紫外線照耀式、電解式。