太陽能離子注入機(jī)功能
太陽能離子注入機(jī)用于太陽能電池片的摻雜工藝，離子注入后形成電池片發(fā)電核心-PN結(jié)。將離子注入引入太陽能工藝中，可有效提高電池片的均勻性，從而提高轉(zhuǎn)換效率至少1%。
太陽能離子注入機(jī)用于太陽能電池片的摻雜工藝，離子注入后形成電池片發(fā)電核心-PN結(jié)。將離子注入引入太陽能工藝中，可有效提高電池片的均勻性，從而提高轉(zhuǎn)換效率至少1%。
太陽能離子注入機(jī)主要經(jīng)濟(jì)技術(shù)指標(biāo)對比
| 東莞帕薩（Simplant） | 瓦里安（Solion) | |
| 離子種類 | B+,P+ | P+ |
| 能量 | 5-40keV | 10--20keV |
| 束流強(qiáng)度 | B+:70mA P+:120mA | P+:80mA |
| 注入均勻性 | ＞98% | ＞97% |
| 單機(jī)產(chǎn)能 | 3000片/小時(shí) | 1000片/小時(shí) |
| 體積（長×寬×高） | 6×5×3米 | 9.7×5.2×2.6米 |
| 綜合制程成本 | ＄0.03/片 | ＄0.1/片 |
太陽能電池片離子注入機(jī)的特點(diǎn)
離子注入與傳統(tǒng)熱擴(kuò)散相比較，具有如下特點(diǎn)：
◆注入硅片的離子劑量可以精確控制。使用離子注入機(jī)摻雜，劑量可以精確到離子的個(gè)數(shù)，這樣可以形成高品質(zhì)的PN結(jié)，這是傳統(tǒng)熱擴(kuò)散*沒能力做到的；
◆注入硅片的深度可以精確控制。離子注入機(jī)可以自由調(diào)節(jié)束能的大小，這可以調(diào)節(jié)離子的動(dòng)能從而達(dá)到調(diào)節(jié)注入的深度。傳統(tǒng)熱擴(kuò)散主要靠溫度和時(shí)間來控制注入離子的深度，屬于模糊控制；
◆高的光電轉(zhuǎn)化率。離子注入機(jī)可以與傳統(tǒng)熱擴(kuò)散相比可以提升電池1.5%-3%的光電轉(zhuǎn)化率；
◆高均勻性：離子注入機(jī)由于可以控制束流的均勻性，對于硅片方塊電阻的均勻性能夠精確控制，使方阻均勻性更好。
主要優(yōu)勢：
◆大束流：可以做到120mA（P+）以上。
◆B+和P+注入：相對市場上其他家的太陽能離子注入機(jī)目前只能注入P+離子，太陽能離子注入機(jī)也可以注入大束流的B+離子，滿足不同客戶的不同需求。
◆束流利用率：研發(fā)的太陽能離子注入機(jī)束流利用率可以達(dá)到95%。
◆束流均勻性：研發(fā)的太陽能離子注入機(jī)束流均勻度可以達(dá)到98%以上。
◆高產(chǎn)能：目前在市場上投入使用的太陽能離子注入機(jī)離子注入機(jī)的產(chǎn)能為1000片/小時(shí)左右（以Varian公司的Solion為例），這會(huì)對光伏電池生產(chǎn)線的產(chǎn)能造成很大的限制，直接影響電池片廠家的利潤。研發(fā)的太陽能離子注入機(jī)設(shè)計(jì)產(chǎn)能將達(dá)到3000片/小時(shí)。
◆制程成本低廉：使用太陽能離子注入機(jī)，可以使離子注入機(jī)的綜合制程成本控制在約RMB 0.3元/片。
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