這是一套基于掃描探針顯微鏡SmartSPM和 XploRA plus的耦合系統。

XploRA Nano系統，緊湊、全自動、易于使用，這是一套已經得到證實了的經濟適用的高度集中原子力顯微鏡-拉曼的全功能系統，它幫助大家實現TERS成像。

HORIBA XploRA Nano共振拉曼光譜概要

多樣品分析平臺

宏觀、微觀和納米尺度的測量可以在同一個平臺上進行

簡單易用

全自動操作，在幾分鐘內即可開始測量，而不是幾小時！

真正的共聚焦

高空間分辨率，自動樣品臺，全顯微鏡可視化。

高收集效率

頂部和側向拉曼光譜檢測都可以獲得高分辨和高通量測量同區域和針尖增強光譜測量（TERS和TEPL)

高光譜分辨率

高光譜分辨能力，多光柵自動切換，寬光譜范圍的拉曼和光致發光分析。

高空間分辨率

針尖增強的納米級光譜分辨率（優于10nm）

豐富的光學光譜（拉曼和光致發光）

多技術/多環境

結合TERS/TEPL化學成像的多模式SPM技術包括AFM、導電和電學模式（cAFM、KPFM）、STM、液池和電化學環境。一個工作站和強大的軟件即可對兩臺儀器進行*控制，SPM和光譜儀可以同時或獨立操作。

堅固性/穩定性

高共振頻率AFM掃描器，遠離噪音干擾！高性能表現，無需主動隔振系統。

HORIBA XploRA Nano共振拉曼光譜配置

SmartSPM掃描器和基座

閉環平板掃描器： 100 µm x 100 µm x 15 µm (±10 %)

掃描器非線性：XY≤0.05 %; Z≤0.05 %

噪聲水平：XY≤0.1 nm RMS（200 Hz帶寬，電容傳感器打開）；XY≤0.02 nm RMS（100 Hz帶寬，電容傳感器關閉）；Z<0.04 nm RMS （1000 Hz帶寬，電容傳感器開）

高頻掃描器：XY≥7 kHz; Z≥ 15 kHz

X, Y, Z自動趨近：XYZ數字閉環控制，Z向馬達趨近距離18mm

樣品尺寸：40 mm x 50 mm x 15 mm

樣品定位：自動樣品臺范圍：5 mm x 5 mm

定位精度：1µm

AFM測試頭

激光波長：1300nm（光譜檢測器無干擾）

激光準直：全自動懸臂—光電二極管激光準直

探針通道：為外部操作和探針提供自由通道

SPM測量模式

標準模式：接觸模式、半接觸模式、非接觸模式、相位成像模式、側向力模式（LFM）、力調制模式、磁力顯微鏡模式（MFM）、開爾文探針模式（表面電勢，SKM，KPFM）、掃描電容模式、靜電力顯微鏡模式（EFM）、力曲線測量、壓電響應模式（PFM）、納米蝕刻、納米操縱

升級模式：溶液環境接觸模式、溶液環境半接觸模式、導電力顯微鏡模式、STM模式、光電流成像模式、伏安特性曲線測量等

光譜模式

共聚焦拉曼、熒光和光致發光光譜和成像

針尖增強拉曼光譜（AFM，STM等）

針尖增強熒光

近場光學顯微鏡和光譜(NSOM/SNOM)

導電力AFM（選購）

電流范圍：100fA~10µA;三檔量程自動切換（1 nA, 100 nA 和 10 µA）

光路耦合通道

頂部和側向能夠同時使用消色差物鏡：從頂部或側向最高可用100X，NA0.7物鏡；可同時使用20倍和100倍

長期光譜激光穩定對準的閉環壓電物鏡掃描器：20µm x 20µm x 15µm；

分辨率：1nm

光譜儀

全自動緊湊型XploRA Plus顯微光譜儀，可獨立使用顯微拉曼光譜儀

波長范圍：75cm-1至4000 cm-1

光柵：四光柵自動切換(600, 1200, 1800 and 2400 g/mm)

自動化：全自動，軟件控制操作

檢測器

全光譜范圍CCD和EMCCD檢測器。

光源

典型波長：532nm、638nm、785nm；其它波長可根據需求提供

自動化：全自動，軟件控制操作

軟件

集成軟件包，包括全功能SPM、光譜儀和數據采集控制、光譜和SPM數據分析和處理套件，包括光譜擬合、去卷積和濾波，可選模塊包括單變量和多變量分析套件（PCA、MCR、HCA、DCA），顆粒檢測和光譜搜索功能。