等離子廢氣凈化器又稱為低溫等離子廢氣凈化器、等離子廢氣處理設備，等離子廢氣凈化器是一種用應于廢氣處理的環保設備，具有阻力小，操作簡單等特點，等離子廢氣處理設備廣泛適用于工廠各種低濃度的廢氣處理。

低溫等離子廢氣凈化器工作原理是：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子 物質，或使物質轉變成 或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。

低溫等離子廢氣凈化器在發作等離子體的過程中，高頻放電所發作的瞬間量可以翻開某些氣體分子的化學能，使或無機高分子惡臭化合物分子鏈分解為單質原子或分子。

等離子體中包含很多的電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結合，在電場作用下，廢氣分子處于激發態，當廢氣分子取得的能量大于其分子鍵能的結合能時，廢氣分子的分子鍵開裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得氣體分子。

等離子模塊含有一體化體系，裝置方便！主要是經過風量大小來選技合理的等離子模塊，合作場所及風管收集體系來進行裝置，終究到達環保規范。

低溫等離子廢氣凈化器采用高壓發生器形成低溫等離子體，等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。

放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態。等離子體降解污染物是利用這些電子、自由基等活性粒子，使污染物分子在的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。在平均能量約5eV的大量電子作用下，通過凈化器的苯、甲苯、H2S、CS2、SO2等廢氣分子轉化成各種活性粒子，與空氣中的O2結合生成H2O、S、CO2等低分子物質，使廢氣凈化。