2024年1月30日賽默飛集成電路材料應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室正式落成開(kāi)幕。隨著國(guó)內(nèi)集成電路行業(yè)的高速發(fā)展，集成電路材料作為產(chǎn)業(yè)鏈中細(xì)分領(lǐng)域最重要的一環(huán)，對(duì)集成電路制造業(yè)安全可靠發(fā)展以及持續(xù)技術(shù)創(chuàng)新起到至關(guān)重要的支撐作用。為確保芯片良率和性能，與集成電路制程工藝緊密相關(guān)的超純水、環(huán)境空氣、晶圓基材、晶圓制程和表面清洗化學(xué)品、濺射靶材、電子氣體和封裝基板電鍍液等材料中的雜質(zhì)控制要求日趨嚴(yán)格。同時(shí)技術(shù)壁壘也使得集成電路制造設(shè)備和材料國(guó)產(chǎn)替代勢(shì)在必行，性能提升需要先進(jìn)制程支撐，激發(fā)了材料技術(shù)的底層創(chuàng)新和研發(fā)的大規(guī)模投入。賽默飛世爾科技可為集成電路材料應(yīng)用提供全面有效的方案支持，除具備多種分析晶圓物性結(jié)構(gòu)的高端電子顯微鏡、AMC在線采集與檢測(cè)儀、分析材料成份表征和質(zhì)量控制的色譜質(zhì)譜等賽默飛全產(chǎn)線最先進(jìn)的分析儀器設(shè)備外，還可提供穩(wěn)定可靠的檢測(cè)方法，與國(guó)際先進(jìn)集成電路制程水平相配套，助力材料研發(fā)創(chuàng)新，服務(wù)于國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
開(kāi)幕儀式于2024年1月30日上午在賽默飛廣州G77工廠隆重舉行，中新廣州知識(shí)城開(kāi)發(fā)建設(shè)辦公室副主任黃偉堅(jiān)、廣東匯標(biāo)檢測(cè)認(rèn)證集團(tuán)有限公司董事長(zhǎng)王智民、賽默飛中國(guó)分析儀器事業(yè)部商務(wù)副總裁周曉斌、賽默飛中國(guó)色譜與質(zhì)譜業(yè)務(wù)商務(wù)副總裁何燕、賽默飛中國(guó)制造運(yùn)營(yíng)副總裁程強(qiáng)、賽默飛離子色譜及樣品前處理業(yè)務(wù)副總裁/總經(jīng)理Lidiya Raicevic女士等出席本次活動(dòng)。
賽默飛領(lǐng)導(dǎo)致辭
周曉斌
賽默飛中國(guó)分析儀器事業(yè)部商務(wù)副總裁
賽默飛中國(guó)分析儀器事業(yè)部商務(wù)副總裁周曉斌先生在開(kāi)場(chǎng)致辭中表示，賽默飛將持續(xù)關(guān)注集成電路行業(yè)發(fā)展，增加在分析儀器和分析方案上的投入，與政府、國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)制定機(jī)構(gòu)、第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)、集成電路行業(yè)相關(guān)客戶通力合作，共同促進(jìn)集成電路行業(yè)發(fā)展。
賽默飛中國(guó)色譜與質(zhì)譜業(yè)務(wù)高層領(lǐng)導(dǎo)寄語(yǔ)希望與行業(yè)領(lǐng)頭客戶緊密合作，參與集成電路材料檢測(cè)方法開(kāi)發(fā)和標(biāo)準(zhǔn)驗(yàn)證，為國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)和材料研發(fā)提供更全面的產(chǎn)品支持和技術(shù)服務(wù)。我們會(huì)全心全意地為每一位客戶提供助力、鑄就成功! 同時(shí)在廣州開(kāi)發(fā)區(qū)政府的正確領(lǐng)導(dǎo)下，不遺余力地規(guī)劃更美好的未來(lái)。
政府代表致辭
黃偉堅(jiān)
中新廣州知識(shí)城開(kāi)發(fā)建設(shè)辦公室副主任
中新廣州知識(shí)城開(kāi)發(fā)建設(shè)辦公室副主任黃偉堅(jiān)回顧了過(guò)去十年賽默飛與廣州開(kāi)發(fā)區(qū)攜手成長(zhǎng)的發(fā)展歷程，表達(dá)了政府對(duì)集成電路相關(guān)行業(yè)發(fā)展的關(guān)注，鼓勵(lì)更多的企業(yè)、機(jī)構(gòu)抓住集成電路行業(yè)發(fā)展的機(jī)遇，并支持賽默飛為集成電路標(biāo)準(zhǔn)制定和研發(fā)機(jī)構(gòu)、集成電路材料生產(chǎn)廠家、分析儀器廠家以及第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)搭建科學(xué)平臺(tái)。
客戶代表致辭
王智民
廣東匯標(biāo)檢測(cè)認(rèn)證集團(tuán)有限公司董事長(zhǎng)
廣東匯標(biāo)檢測(cè)認(rèn)證集團(tuán)有限公司王智民董事長(zhǎng)發(fā)表賀詞，祝賀賽默飛集成電路材料應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室落成，表達(dá)了對(duì)賽默飛產(chǎn)品以及服務(wù)的認(rèn)可。廣東匯標(biāo)作為賽默飛的長(zhǎng)期合作伙伴，雙方將繼續(xù)相互支持，深度合作，共同成長(zhǎng)。
賽默飛中國(guó)分析儀器事業(yè)部商務(wù)副總裁周曉斌先生和賽默飛中國(guó)色譜與質(zhì)譜業(yè)務(wù)商務(wù)副總裁何燕女士為“賽默飛集成電路材料應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室”共同揭牌。同時(shí)，賽默飛領(lǐng)導(dǎo)和與會(huì)嘉賓一起剪彩，為新實(shí)驗(yàn)室開(kāi)啟新征程。
30日下午，集成電路材料應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室高端研討會(huì)在賽默飛廣州工廠舉行。
上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院張劍峰副院長(zhǎng)、工業(yè)信息化部電子第五研究所張培強(qiáng)高級(jí)工程師，廣東芯粵能半導(dǎo)體有限公司、廣東先導(dǎo)稀材股份等多家集成電路及材料企業(yè)30多位領(lǐng)導(dǎo)和專家，以及賽默飛資深專家們參加研討會(huì)。此次研討會(huì)就集成電路材料檢測(cè)領(lǐng)域的發(fā)展現(xiàn)狀、技術(shù)應(yīng)用、分析熱點(diǎn)和難點(diǎn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)等方面進(jìn)行了熱烈充分的交流與探討。
李春華
上海計(jì)量院電子化學(xué)品計(jì)量檢測(cè)技術(shù)服務(wù)平臺(tái)資深專家
上海計(jì)量院電子化學(xué)品計(jì)量檢測(cè)技術(shù)服務(wù)平臺(tái)資深專家李春華老師做了題為：集成電路材料產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀和標(biāo)準(zhǔn)體系的研究報(bào)告，李老師從事檢測(cè)分析13年，參與起草國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)12項(xiàng)，在濕電子化學(xué)品、超純水、AMC、硅片、金屬靶材、電子特氣和光刻膠等集成電路相關(guān)材料中痕量和超痕量雜質(zhì)檢測(cè)方面有豐富的經(jīng)驗(yàn)，所屬實(shí)驗(yàn)室在多種濕電子化學(xué)品、超純水中痕量無(wú)機(jī)金屬離子、無(wú)機(jī)非金屬陰離子和陽(yáng)離子等檢測(cè)項(xiàng)目已通過(guò)CNAS和CMA認(rèn)證。李老師著重介紹了集成電路產(chǎn)業(yè)中關(guān)鍵材料濕電子化學(xué)品和電子特氣的檢測(cè)要求，對(duì)標(biāo)semi標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)探討了國(guó)內(nèi)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的現(xiàn)狀及標(biāo)準(zhǔn)提高的可行性，分享了上海計(jì)量測(cè)試研究院集成電路產(chǎn)業(yè)中心與賽默飛世爾科技合作開(kāi)發(fā)的多項(xiàng)濕電子化學(xué)品、電子特氣、光刻膠等材料中痕量無(wú)機(jī)陰離子和金屬離子檢測(cè)方法。針對(duì)超痕量分析，李老師還現(xiàn)場(chǎng)詳細(xì)解讀了實(shí)驗(yàn)室環(huán)境和人為因素對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響，與會(huì)專家客戶反響強(qiáng)烈，紛紛參與討論。
與此同時(shí)賽默飛資深業(yè)務(wù)專家分享了賽默飛電子顯微鏡在芯片失效分析技術(shù)方面的創(chuàng)新成果、色譜與質(zhì)譜產(chǎn)品線在集成電路材料檢測(cè)的整體解決方案，并著重介紹了高分辨質(zhì)譜在高純有機(jī)溶劑雜質(zhì)及聚合物成份表征中的應(yīng)用、賽默飛在半導(dǎo)體無(wú)塵室中AMC的在線采集和分析技術(shù)、輝光放電質(zhì)譜法的使用特點(diǎn)和應(yīng)用領(lǐng)域。
賽默飛集成電路材料應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室簡(jiǎn)介
賽默飛世爾科技是賦能科技進(jìn)步的全球領(lǐng)導(dǎo)者。我們幫助客戶加速生命科學(xué)領(lǐng)域的研究、解決在分析領(lǐng)域所遇到的復(fù)雜問(wèn)題與挑戰(zhàn)、提高實(shí)驗(yàn)室生產(chǎn)力、通過(guò)提供診斷以及研發(fā)制造各類突破性的治療方法，從而改善患者的健康。
賽默飛集成電路材料應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室，憑借其離子色譜、電感耦合等離子體光譜和質(zhì)譜、輝光放電質(zhì)譜、液相色譜和電霧式檢測(cè)器、高分辨質(zhì)譜、氣相色譜和質(zhì)譜技術(shù)實(shí)力，不斷開(kāi)發(fā)各類集成電路材料中痕量無(wú)機(jī)陰離子、陽(yáng)離子和金屬離子、痕量氣體和有機(jī)雜質(zhì)的檢測(cè)方案，為集成電路制造產(chǎn)業(yè)鏈提供多種解決方案，在超純水、環(huán)境空氣、晶圓基材、晶圓制程和表面清洗化學(xué)品、濺射靶材、電子氣體和封裝材料等方面提供全面可靠的分析技術(shù)，全方位滿足集成電路生產(chǎn)對(duì)相關(guān)材料的質(zhì)控要求，支持和服務(wù)于客戶建立起完整質(zhì)量控制體系，使國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)向高端邁進(jìn)。
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