掃描電鏡特殊類型樣品制備系列 03--不導電樣品的2種應對方法
掃描電鏡鏡特殊類型樣品制備系列03--不導電樣品的2種應對方法對于不導電材料,在入射電子束的作用下,其表面會積累電荷,這些電荷會對掃描電鏡背散射電子成像和二次電子成像產生不良影響;同時對入射電子束產生“減速”作用,進而減小電子束的著陸電壓,對能譜的準確性產生極大負面影響。針對此情況,飛納臺式掃描電鏡提供低真空模式,以降低充電效應對測試結果產生的影響。方糖掃描電鏡圖像樣品產生充電效應(左)方糖掃描電鏡圖像低真空下無充電效應(右)樣品在充電狀態下,充電位置帶負電,將對入射電子束產生強烈的排斥。如上圖