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Aston™ 質譜分析儀 CVD 典型應用

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公司名稱伯東企業（上海）有限公司
品牌其他品牌
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所在地上海市
廠商性質經銷商
更新時間2022/3/9 14:46:49
訪問次數568

產品標簽:

質譜儀分析儀器儀表

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　伯東企業(上海)有限公司專業代理各國真空產品位于中國上海浦東外高橋保稅區的伯東企業(上海)有限公司創建于1995年12月，是日本伯東株式會社獨資設立的外商投資企業，公司注冊資金為200萬美元，到目前為止公司從業員工有400多人。

　　伯東企業(上海)有限公司 ()專業銷售及維修德國Pfeiffer單雙級旋片泵，干泵，羅茨泵，分子泵；應用于各種條件下的真空測量(真空計, 真空規管)；檢漏儀，質譜儀，真空系統等等, 維修技術力量雄厚，保證 100 % 擁有標準的德國Pfeiffer原廠測試設備及調整工具和德國Pfeiffer專業培訓工程師，多年來致力于真空系統的安裝、調試、維修、拆機、保養等，具有優良的專業技能和服務意識，并獲得原廠*維修資質證書。利用 Pfeiffer 進口檢測設備對維修后的產品做*性能測試。另外公司還代理美國Brooks CTI Cryopump 冷凝泵/低溫泵, Polycold 冷凍機和美國KRI 離子源，HVA 高真空閥門。

　　公司一直堅持品質*、信譽*的原則，為廣大客戶提供了高品質的產品以及良好的售后服務。到目前為止已先后通過了美國UL安全認證、ISO9001-2000質量體系認證、ISO14001-1996環境體系認證。公司將在今后的發展中秉承以人為本，不斷開拓進取的精神，為滿足客戶的需求努力向專業化、優質化、集團化發展。

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氦質譜檢漏儀,分子泵,原子力顯微鏡,高低溫測試機,離子源,真空閥門

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上海伯東代理日本 Atonarp 過程控制質譜儀 Aston™ 專為半導體生產而設計, 作為一個強大的平臺, Aston™ 可以取代多種傳統工具

Aston™ 質譜分析儀 CVD 典型應用產品信息

Aston™ 質譜分析儀 CVD 典型應用: Dry pump 干泵排氣在線監測,診斷

Atonarp 質譜分析儀 Aston™ 半導體 CVD / ALD 應用
上海伯東代理日本 Atonarp 過程控制質譜儀 Aston™ 專為半導體生產而設計, 作為一個強大的平臺, Aston™ 可以取代多種傳統工具, 提供半導體制程中 ALD, CVD, 蝕刻, ALE 和腔室在大批量生產中的氣體偵測分析, 實現尾氣在線監控, 診斷并在一系列應用中提供的控制水平, 適用于光刻, 電介質和導電蝕刻及沉積, 腔室清潔, 腔室匹配和消解.

Aston™ 質譜分析儀耐受腐蝕性氣體和氣化污染物冷凝液, 能夠在半導體生產遇到的惡劣工況下可靠運行, 與傳統質量分析儀相比, 使用 Aston™ 的維修間隔更長. 它包括自清潔功能, 可消除由于某些工藝中存在的冷凝物沉積而導致的污垢積累.

Aston™ 質譜分析儀 CVD 典型應用: Dry pump 干泵排氣在線監測,診斷
在惡劣的 CVD 環境中, Aston™ 利用可操作的數據預測和預防因 PV-CVD 干泵引起的災難性故障, 能夠對破壞性腐蝕或沉積進行預測建模, 優化氮氣吹掃成本.
適用場景: 多個腔室連接到1個干泵, 高濃度的電介質會導致災難性的泵故障 (一次損失 10-100 片的晶圓)

Aston CVD 典型應用: Dry pump 干泵排氣在線監測,診斷

通過使用上海伯東 Atonarp 過程控制質譜儀 Aston™ 可以提高半導體制造工藝的產量, 吞吐量和效率, 此款質譜儀可以在新工藝腔室的組裝過程中進行安裝, 也可將其加裝到已運行的現有腔室, 可在短時間內實現晶圓更高產量!